ナノインプリントは、nmオーダーの微細なパターンをもつ型を材料に押し付けて成形する加工技術で、非常に簡単な工程で超精密パターンの転写ができる経済的なナノ加工技術です。10nm以下の優れた解像度と従来の半導体微細加工装置費の1/10以下の経済性に期待され、国際半導体ロードマップITRSに22nm以下の超微細加工技術の有力候補の一つとして位置づけられています。原理が単純で適応性が広いので、電子部品のナノ加工への応用だけではなく、マイクロ加工やガラス材料などを含む種々の材料、バイオチップやナノ光学要素など幅広い先端分野への応用が期待されています。

　 その一方で、大面積化や製品均質化、高精度化、高次元化、高機能化や材料の多様化等の多様な要求に対応した新規成形法の開発、マスタ型製作法の開発などのニーズや課題も多く、ナノインプリント実用化と普及のためには、製造装置の機能向上、製造に必要な金型の材質や加工法、プロセス設計、検査など一連の技術完成度が求められています。

　 本書は、このように脚光を浴びているナノインプリント法に関する最新の情報と課題を集約し、今後の技術開発の方向と応用の可能性を見極めるのに役立つことを目的として編集したものです。ナノインプリント技術の開発動向、ナノインプリントプロセス技術、ナノインプリント装置、ナノインプリント使用材料、ナノインプリント技術の応用と展開および展望について詳述しました。

　　　　□体裁　A4版　395頁
　　　　□税込価格　71,400円　(本体68,000円、消費税3,400円)
　　　　□送料　弊社負担
　　　　□発行　2008月10月