| |
頁 |
| 第1章 光硬化性材料の概要 |
1 |
| 1.1 光硬化システムの概要 |
1 |
| 1.1.1 光架橋、光硬化、光重合と化学構造 |
1 |
| 1.1.2 熱硬化方法との比較 |
22 |
| 1.1.3 光(活性エネルギー線)の種類 |
24 |
| 1.2 光硬化性材料の種類と構造 |
33 |
| 1.2.1 光硬化材料の構成 |
33 |
| 1.2.2 樹脂組成物 |
34 |
| 1.2.3 光重合開始剤 |
44 |
| 1.2.4 その他硬化反応で利用される材料 |
59 |
| 1.3 エネルギー源発生装置 |
64 |
| 1.3.1 UV硬化装置 |
64 |
| 1.3.2 EB硬化装置 |
65 |
| 1.3.3 関連装置 |
68 |
| 1.4 光硬化性材料の物性と評価 |
70 |
| 1.4.1 硬化過程のレオロジー |
70 |
| 1.4.2 硬化物の解析 |
81 |
| 1.4.3 硬化挙動の解析 |
89 |
| 引用文献 |
115 |
| |
| 第2章 光硬化性樹脂の課題と対策 |
117 |
| 2.1 光硬化性樹脂に要求される改質技術 |
117 |
| 2.1.1 硬化皮膜の硬さ |
118 |
| 2.1.2 基材との密着性 |
119 |
| (1) 硬化収縮率 |
119 |
| (2) 表面張力 |
121 |
| (3) 多種基材への密着性(東亞合成) |
122 |
| (4) モノマーの耐光性(大日本インキ化学工業、住友電気工業、日本ペイント) |
124 |
| 2.1.3 環境調和性 |
125 |
| (1) 低毒性 |
125 |
| (2) 揮発性 |
127 |
| (3) 希釈性 |
128 |
| (4) エコ効率分析(BASF社:ドイツ) |
128 |
| 2.1.4 高感度化に関する各社の取り組み |
129 |
| (1) 王子製紙 |
130 |
| (2) 富士フイルム |
130 |
| (3) 昭和電工 |
130 |
| (4) デュポン エムアールシー ドライフィルム |
130 |
| (5) 東洋インキ製造 |
130 |
| (6) 富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ |
131 |
| (7) 三菱化学 |
131 |
| (8) 日立化成 |
131 |
| (9) 互応化学工業 |
131 |
| (10) コニカミノルタホールディングス |
132 |
| (11) 日本曹達 |
132 |
| 2.1.5 耐汚染性の改良(大日本インキ化学工業) |
132 |
| 2.1.6 塗膜の相分離や成分偏析を用いた応用例(大日本インキ化学工業) |
133 |
| 2.2 光硬化樹脂の材料設計 |
133 |
| 2.2.1 光硬化樹脂材料の構造 |
133 |
| (1) 感光性高分子 |
133 |
| (2) 光重合性モノマー |
138 |
| (3) 光可溶化型樹脂 |
142 |
| 2.2.2 新規材料の設計 |
144 |
| (1) 無機材料(微粒子)のブレンド(大阪市立工業研究所) |
144 |
| (2) ジイソシアネートを使用しないウレタンアクリレート |
147 |
| (3) 硬化エラストマー変性エポキシ樹脂(NTTフォトニクス研究所) |
148 |
| (4) 光硬化型シリコーンレジンコーティング剤「AY42-150」「開発品B」(東レ) |
151 |
| (5) シルセスキオキサン誘導体(東亞合成) |
152 |
| (6) フラーレン、カーボンナノチューブの利用 |
154 |
| (7) 光酸発生剤(関西ペイント) |
156 |
| (8) デンドリマー、ハイパーブランチポリマー、スターポリマー(神奈川大学) |
157 |
| (9) 環状オリゴマーを基盤とする光機能材料(神奈川大学) |
160 |
| 2.3 光(活性エネルギー線)照射条件の最適化 |
161 |
| 2.3.1 光硬化プロセス |
161 |
| (1) 光硬化電着プロセス |
161 |
| (2) 光硬化粉体プロセス |
161 |
| 2.3.2 深部方向への硬化技術 |
162 |
| (1) 連鎖硬化システム(三菱重工業) |
162 |
| (2) デュアル硬化材料 |
164 |
| 2.3.3 光を照射できない部分の硬化反応 |
166 |
| (1) 熱硬化型 |
166 |
| (2) 遅延硬化型 |
166 |
| (3) 嫌気硬化型 |
167 |
| (4) 湿気硬化型 |
168 |
| (5) モノマー揮発型 |
170 |
| 2.3.4 熱ダメージの低減 |
170 |
| 2.4 硬化阻害の改善 |
170 |
| 2.4.1 阻害要因 |
170 |
| (1) 酸素クエンチングと酸素スカベンジングのメカニズム |
170 |
| (2) 皮膜中のラジカル重合反応と酸素の影響 |
172 |
| (3) 硬化装置(松下電工マシンアンドビジョン、パイオニア) |
173 |
| (4) 泡のかみ込み |
174 |
| 2.4.2 阻害対策 |
174 |
| (1) 組成物の選択 |
174 |
| (2) 添加剤による改善 |
176 |
| (3) 硬化装置のランプの種類と圧力 |
178 |
| (4) リフレクター、熱線カットフィルターの影響 |
178 |
| (5) 不活性ガスの注入 |
179 |
| (6) 消泡剤 |
179 |
| (7) 皮膜形成装置の改善 |
180 |
| (8) エン・チオール硬化 |
180 |
| (9) ラジカル濃度の増大 |
181 |
| (10) 開始剤の選択 |
181 |
| 2.5 密着性の向上 |
182 |
| 2.5.1 硬化収縮率の低減 |
182 |
| (1) 反応性基濃度の低減 |
183 |
| (2) 非反応性材料の利用 |
186 |
| (3) 反応性材料の利用:添加剤「カレンズMT」(昭和電工) |
187 |
| (4) 開環重合性化合物の利用(オキセタン) |
187 |
| 2.5.2 内部応力の低減(東亞合成) |
188 |
| (1) 硬化速度の調整 |
189 |
| (2) 材料の選択 |
190 |
| 2.6 着色材料の添加にともなう光硬化性低下の改善 |
192 |
| 2.7 アウトガス発生の低減 |
193 |
| 2.7.1 UV硬化性とアウトガス発生との関係 |
194 |
| 2.7.2 アウトガスの測定方法と実例(東亞合成) |
194 |
| 2.7.3 光ラジカル重合開始剤の種類による加熱重量減少率(ナガセケムテックス) |
195 |
2.7.4 UV光照射時のエレクトロニクス材料からの発生ガス分析
(東レリサーチセンター) |
197 |
| 2.8 環境配慮への改善 |
197 |
| 2.8.1 皮膚刺激 |
197 |
| (1) 低粘度アクリルモノマー |
198 |
| (2) 水系アクリルモノマー |
198 |
| (3) 非アクリル系オリゴマー |
199 |
| 2.8.2 加熱分解 |
200 |
| (1) レジスト現像液の廃液を無公害化するシステム(トクヤマ、シャープ) |
200 |
| (2) エキシマランプと高濃度オゾン水を用いたレジスト剥離技術(オムロン) |
200 |
| (3) 光学素子用仮止剤(電気化学工業) |
202 |
| 2.8.3 溶解除去 |
202 |
| 2.8.4 炭酸エチレンを使ったレジスト剥離(野村マイクロ・サイエンス、ナムテック) |
203 |
| 2.8.5 水性化 |
204 |
| (1) 水性フォトソルダーレジストインキ(日本ペイント) |
204 |
| (2) 水性UV塗料(武蔵塗料、香川ケミカル) |
206 |
| 2.9 その他 |
206 |
| (1) 光重合開始剤不要システム(新規化合物MlA200)(大日本インキ化学工業) |
206 |
| (2) VOC対策とUV硬化パウダーコーティングシステム(ハリマ興産) |
207 |
| 引用文献 |
208 |
| |
| 第3章 光硬化樹脂をとりまく市場状況 |
212 |
| 3.1 光硬化型樹脂応用製品の市場状況 |
212 |
| 3.1.1 国内の市場状況 |
212 |
| 3.1.2 全世界及び地域別の市場 |
213 |
| 3.1.3 主要国での消費傾向 |
215 |
| 3.1.4 地域別(世界)市場動向 |
216 |
| 3.1.5 光硬化型樹脂応用製品分野別市場 |
217 |
| (1) エレクトロニクス分野 |
217 |
| (2) 塗料・コーティング分野 |
217 |
(3) その他分野(UV硬化型接着剤、可視光硬化型接着剤、光造型用樹脂、
感光性印刷版、光重合型歯科材料) |
218 |
| 3.1.6 注目市場の状況 |
218 |
| (1) DeepUVレジスト |
218 |
| (2) カラーレジスト |
218 |
| (3) 樹脂ブラックマトリックス |
219 |
| (4) バックグラインドテープ |
219 |
| (5) UV硬化型インキ |
219 |
| (6) 可視光硬化型接着剤 |
219 |
| (7) 光ディスクコーティング |
220 |
| (8) UV硬化型FPD用メインシール剤 |
220 |
| (9) プリズムシート |
220 |
| 3.2 用途別の市場動向 |
220 |
| 3.2.1 コーティング |
221 |
| 3.2.2 フォトレジスト |
223 |
| (1) 半導体レジスト |
223 |
| (2) カラーフィルタ |
223 |
| (3) スペーサ |
224 |
| (4) 感光性ペースト |
224 |
| 3.2.3 インキ |
224 |
| 3.2.4 その他 |
225 |
| (1) カチオンUV硬化材料 |
225 |
| (2) 3次元光造形技術 |
226 |
| (3) 硬化・乾燥/接着用光源 |
226 |
| 引用文献 |
227 |
| |
| 第4章 各分野での応用技術 |
228 |
| 4.1 接着・粘着材における応用技術 |
228 |
| 4.1.1 光硬化性接着・粘着剤で要求される要素技術 |
228 |
| (1) 粘着と接着の違い |
228 |
| (2) 接着剤への要求特性 |
229 |
| (3) UV粘着剤への要求特性 |
230 |
| 4.1.2 各種用途における接着剤の要求特性 |
232 |
| (1) ディスプレイ用途 |
232 |
| (2) 光学デバイス部品用途 |
234 |
| 4.1.3 光硬化型接着・粘着剤の種類 |
235 |
| (1) ラジカル重合性アクリル樹脂系接着剤 |
236 |
| (2) 光硬化型瞬間接着剤(スリーボンド) |
237 |
| (3) UV硬化型粘着剤(東亞合成) |
240 |
| 4.1.4 光硬化型接着、粘着剤の応用展開 |
242 |
| (1) エレクトロニクス分野で利用される光粘接着剤 |
242 |
| A LCDおよび有機EL用接着剤(ナガセケムテックス、スリーボンド) |
242 |
| B UV硬化性樹脂による光ディスクのディスク板とハブの接着(スリーボンド) |
245 |
| C 光実装用光硬化型接着材料(NTTアドバンステクノロジ) |
247 |
| D UV硬化型光路用光学接着剤(NTTフォトニクス研究所) |
250 |
| E 自然剥離粘着剤(日東電工) |
252 |
| F 高密度次元実装パッケージ製造での光硬化性粘接着テープ(古河電工) |
253 |
| (2) 医用分野で利用される光粘接着剤 |
255 |
| A 光硬化樹脂による歯科用セメント(ジーシー) |
256 |
| (3) 自動車、鉄道、航空機で利用される光粘接着剤 |
256 |
| A EB硬化プロセスによる航空機用構造部材の開発 |
257 |
| B UV硬化プロセスによる航空機用構造部材の開発 |
257 |
| C 光(可視光)硬化プロセスによる航空機用構造部材の開発 |
257 |
| D 自動テーププレースメント積層装置(ATP)の研究 |
258 |
| E 可視光で硬化する航空機の二次構造材(東レ) |
258 |
| (4) 建築、土木で利用される光粘接着剤 |
259 |
A 可視光線で固まる膜で内面保護(清水建設、昭和高分子とクラボウ、
スリーボンドユニコム)ドユニコム) |
259 |
B 光シートによるはく落対策(スリーボンド、清水建設、昭和高分子、
クラボウ) |
259 |
| (5) 印刷業界で使用されるUV硬化型粘着剤 |
261 |
| A アクリタックシリーズ(ノーテーブ工業) |
261 |
| B ヨウ素を含むUV硬化接着剤(松下電器産業) |
263 |
| 4.1.5 光硬化性粘、接着剤の将来展望 |
264 |
| 引用文献 |
265 |
| 4.2 光硬化性インクにおける応用技術 |
266 |
| 4.2.1 光硬化性インクの特徴 |
266 |
| 4.2.2 光硬化性インクで要求される要素技術 |
267 |
| (1) プリントプロセスと素材の技術課題 |
267 |
| 4.2.3 光硬化性インクの分類と種類 |
269 |
| (1) UV/EB硬化型インク |
269 |
| (2) スクリーン印刷用インク |
271 |
| (3) フレキソ印刷用インク |
273 |
| (4) インクジェット印刷用インク |
276 |
| A UV硬化型インクジェットインクの特徴 |
277 |
| B UV硬化型IJインクの粘度 |
278 |
| C アクリル系のUV硬化型IJインク材料 |
278 |
| D 水系UV硬化型IJインク |
279 |
| E カチオン系UV硬化型IJインク |
281 |
| F 深度方向への硬化 |
285 |
| G UVランプによるインクジェット用UVインクの改善 |
287 |
| (5) 油性・UVハイブリッドインク |
287 |
| 4.2.3 光硬化性インクの応用展開 |
288 |
| (1) EB硬化型フレキソ印刷システム(Sun
Chemical社) |
288 |
| (2) インライン用超光沢紫外線(UV)硬化型オーバーコートニス(サカタインクス) |
289 |
| (3) 耐水性・耐溶剤性UVスクリーン印刷用感光性樹脂組成物(村田製作所) |
289 |
| (4) 活性エネルギー線硬化型IJインク(キヤノン) |
290 |
| (5) 動植物油系の活性エネルギー線硬化性印刷インク(東洋インキ製造) |
291 |
| (6) 非水系の紫外線硬化型IJインク組成物(ダイニック) |
292 |
| (7) 高湿環境対応のIJ用活性エネルギー線硬化組成物(東亞合成) |
292 |
(8) 高湿環境対応のIJ用活性エネルギー線硬化組成物
(コニカミノルタエムジー) |
292 |
| (9) 活性エネルギー線硬化型導電性インク組成物(大日本インキ化学工業) |
293 |
| (10) 安全素材性の高いカチオン重合式インク「Ex-UV」(コニカミノルタ) |
293 |
| (11) プリント配線基板向けUV硬化装置一体型シンボル印刷装置(武藤工業) |
296 |
| 4.2.4 光硬化性インクの将来展望 |
297 |
| (1) 新しい応用例 |
297 |
| (2) VOC対策に関係したインク動向 |
298 |
| (3) UVインクの技術動向 |
298 |
| 引用文献 |
298 |
| 4.3 光硬化性塗料(コーティング剤)における応用技術 |
299 |
| 4.3.1 光硬化塗料で要求される要素技術 |
301 |
| 4.3.2 光硬化塗料の分類と種類 |
302 |
| (1) 代表的材料の種類と構造 |
302 |
| (2) 工業製品で利用される光硬化塗料 |
304 |
| A プラスチック塗料用ハードコート材料 |
304 |
| B プリント配線基板関連のレジスト材料 |
305 |
| C 光ファイバにおける被覆材 |
305 |
| D UVスクリーンインキのニスコーティング |
307 |
| E 金属用光硬化塗装 |
309 |
| (3) 建材分野で利用される光硬化性塗料 |
309 |
| A 木工用塗料 |
310 |
| B 木工用水性UV塗料の設計 |
311 |
| C 住宅用水性塗料 |
311 |
| D 可視光による水性塗料の硬化(大日本インキ化学工業) |
314 |
| 4.3.3 光硬化性塗料の応用展開 |
315 |
| (1) 活性エネルギー線硬化型粉体塗料(関西ペイント) |
315 |
| (2) 自動車用水性クリヤー塗料(日本ペイント) |
316 |
| (3) 紫外線重合開始剤を含有するセラミック塗料(TDK) |
316 |
| (4) 光ディスクのコーティング(松下電器産業) |
317 |
| (5) 特殊機能性の圧着UVコート「FDハクリワニス」(東洋インキ製造) |
318 |
| (6) アデカナノハイブリッドシリコーン(旭電化工業) |
319 |
| (7) ミラーコーティングシステム(イシマット・ジャパン) |
321 |
| (8) 自動車補修塗料「nax可視光パテ240」(日本ペイント) |
326 |
| (9) UV硬化型塗料を使ったワックスシート「フロアディア」(ニチバン) |
328 |
| 4.3.4 光硬化性塗料の将来展望 |
328 |
| 引用文献 |
328 |
| 4.4 半導体用フォトレジストおける応用技術 |
329 |
| 4.4.1 半導体用フォトレジストで要求される要素技術 |
330 |
| (1) 液浸ArFリソグラフィ技術 |
331 |
| (2) EUVリソグラフィ技術 |
331 |
| 4.4.2 半導体用フォトレジストの分類と種類 |
331 |
| (1) 光源の種類によるレジストの分類 |
331 |
| A KrFリソグラフィ用レジスト |
332 |
| B ArFリソグラフィ用レジスト |
333 |
| C F2リソグラフィ用レジスト |
335 |
| D EB/EUVリソグラフィ用レジスト |
336 |
| (2) 工程の種類によるレジストの分類 |
337 |
| A 光ナノインプリント |
337 |
| B 金属エッチング用レジスト |
340 |
| C ドライフィルムレジスト(日立化成工業) |
341 |
| (3) 感光性ポリイミド |
342 |
| A ネガ型感光性ポリイミド |
344 |
| B ポジ型感光性ポリイミド |
346 |
| 4.4.3 半導体用フォトレジストの応用展開 |
347 |
| (1) SFILプロセス(Molecular
Imprints社) |
347 |
| (2) 化学増幅系高感度レジスト(兵庫県立大学高度産業科学技術研究所) |
347 |
| (3) ガラスエッチング用の感光性フィルム(日立化成工業) |
348 |
| (4) 硬化温度200℃以下でアルカリ現像できる感光性ポリイミド(東レ) |
348 |
| (5) 感光性と低誘電率を両立した感光性ナノポーラスポリイミド(日東電工) |
349 |
(6) 極端紫外線(EUV)リソグラフィ用低分子フォトレジスト
(東京応化工業、日立製作所)所) |
350 |
| (7) トップコートレス・レジスト「FAiRS-9000シリーズ」(富士フイルム) |
351 |
| (8) レジスト剥離装置(東芝、芝浦メカトロニクス、クロリンエジニアズ) |
352 |
| (9) BD-ROMのスタンパーの製造用無機レジスト(ソニー) |
352 |
| (10) レジスト性能に悪影響を及ぼさない高分子化合物(ダイセル化学工業) |
353 |
| 4.4.4 半導体用フォトレジストの将来展望 |
354 |
| A 新エネルギー産業技術総合開発機構(NEDO)、キヤノン |
355 |
| B JSR |
356 |
| C 富士フィルム |
357 |
| D 東京応化工業 |
357 |
| E 大日本印刷 |
357 |
| 引用文献 |
357 |
| 4.5 フラットパネルディスプレイ用フォトレジストにおける応用技術 |
358 |
| 4.5.1 フラットパネルディスプレイで要求される要素技術 |
358 |
| (1) 液晶用フォトレジスト |
358 |
| (2) PDP(Plasma Panel
Display)用フォトレジスト |
360 |
| (3) 有機ELディスプレイ用フォトレジスト |
362 |
| 4.5.2 フラットパネルディスプレイ用フォトレジストの分類と種類 |
362 |
| (1) TFT液晶ディスプレイ用フォトレジスト |
362 |
| (2) カラーフィルタ用カラーレジスト |
363 |
| (3) カラーフィルタブラックマトリクス形成用フォトレジスト |
364 |
| (4) PDPバリアリブ形成用ドライフィルムレジスト |
365 |
| (5) FPC(フレキシブルプリント配線板)用ソルダーレジスト |
366 |
| (6) シール剤 |
367 |
| (7) スペーサ |
373 |
| 4.5.4 フラットパネルディスプレイ用フォトレジストの応用展開 |
375 |
| (1) 高感度、高解像度を向上するためのフォトレジスト |
375 |
| A 住友ベークライト |
376 |
| B 日本合成化学工業 |
376 |
| C 日本ゼオン |
377 |
| (2) 膜表面の白濁の抑制(熊本大学、AZエレクトロニックマテリアルズ) |
377 |
| (3) 耐透湿性、耐腐食性の高いカチオン硬化性組成物(旭化成) |
378 |
| (4) 高周波無線用セラミック多層基板用感光性組成物(東レ) |
379 |
| (5) 光硬化性樹脂を使いカ一ボンファイバーを垂直に整列(首都大学東京) |
379 |
| 4.5.4 フラットパネルディスプレイ用フォトレジストの将来展望 |
380 |
| 引用文献 |
381 |
| 4.6 光造形用感光性樹脂おける応用技術 |
382 |
| 4.6.1 光造形用光硬化樹脂で要求される要素技術 |
382 |
| (1) 光造形用樹脂への要求特性 |
383 |
| 4.6.2 光造形用樹脂の分類と種類 |
383 |
| (1) 光造形用樹脂の組成の種類 |
383 |
| (2) 光造形法の種類と分類 |
386 |
| (3) 分野別に利用される光造形法 |
389 |
| A 医療で利用される光造形法 |
389 |
| B 自動車で利用される光造形法 |
390 |
| (4) その他工業製品で利用される光造形法 |
392 |
| A 光ファイバ |
392 |
| B 下水やガス管保全で利用される光造形法 |
392 |
| 4.6.3 マイクロ光造形法 |
394 |
| (1) IHプロセス |
395 |
| (2) 内部硬化型マイクロ光造形法(Super-IHプロセス) |
396 |
| 4.6.4 光造形用樹脂の応用展開 |
399 |
| (1) 光導波路の自己形成法(豊田中央研究所) |
399 |
| (2) 感光性ポリイミド(PSPI)を用いた自己形成光導波路(京都工芸繊維大学) |
401 |
(3) 可視光〜近赤外光の波長領域の光を使用するライニング工法
(昭和高分子) |
404 |
| (4) ゴム物性のある光造形用光硬化樹脂(シーメット、信越化学工業) |
404 |
| (5) 透明光造形製品用光硬化樹脂(日本特殊コーティング) |
405 |
| (6) カーボンナノチューブ配合光造形樹脂電極(産業技術総合研究所) |
405 |
| (7) セラミックス造形用UV硬化性樹脂組(JSR) |
406 |
(8) フラーレンの鋳型を利用した光造形技術
(横浜国立大学、ジェイ・エム・シー) |
407 |
| (9) ロッド状に相分離構造をとる自己組織化フィルム(三菱レイヨン) |
408 |
| 4.6.4 光造形用感光性樹脂の将来展望 |
409 |
| 引用文献 |
410 |