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プラスチック材料への無機薄膜形成技術

　　プラスチックに代表される有機物系材料は、無機物系材料と比べて成形性・量産性・柔軟性・軽量などの長所があるため、日用雑貨から産業分野まで幅広く大量に使用されている。しかし、プラスチックでも、耐熱性・寸法精度・物質透過性などが改善できれば無機物系材料に置き換えることができる部位が存在する。プラスチック単体では不可能なような使用部位に適応する技術として、無機系薄膜を表面に形成する技術が進歩してきたので、その技術と応用をまとめてみた。

　　● プラスチック基材表面に無機系材料を被覆・改質する技術！
　　● プラスチック基材の新しい表面機能の形成！
　　● 包装材料へのガス・湿度遮断機能の付与と環境保全！
　　● 新しい炭素系材料の表面被覆による記録材料の信頼性付与！

　　 □体裁　A4判　209ページ
　　 □税込価格　60,900円
　　 □送料　弊社負担
　　 □発行　2002年3月

章　目　次

第1章　無機系薄膜材料とは
第2章　低耐熱性基板用無機薄膜の種類
第3章　新しい薄膜
第4章　無機系薄膜形成技術
第5章　無機系薄の微細加工
第6章　薄膜の試験法
第7章　無機系薄膜の応用
第8章　薄膜に関する文献集
第9章　特許要約集

詳　細　目　次

　　　　　　
  頁
はじめに  

第1章　無機系薄膜材料とは		  

1.1　薄膜とは		 2
1.2　薄膜材料の種類 4
1.3　基板の種類 5
1.4　無機系薄膜材料と基板の関係 6
   

第2章　低耐熱性基板用無機薄膜の種類		  

2.1　ハードコート膜		 9
2.2　ガスバリア膜 13
　2.2.1　ゾルゲルコーテイング 13
　2.2.2　透明蒸着 14
　2.2.3　ハイブリッド膜 16
2.3　反射膜・反射防止膜（ゾルゲル法） 22
2.4　導電・帯電防止・ 制電膜 24
　2.4.1　透明導電膜 25
　2.4.2　帯電防止膜・制電膜 27
　2.4.3　EMIシールド用膜 30
2.5　記録関連膜 33
　2.5.1　印刷用紙用薄膜 33
　2.5.2　磁気テープ用フェライト膜 33
2.6　光触媒・親水・防汚・防曇・撥水膜 36
　2.6.1　光触媒膜 36
　2.6.2　親水親油性膜 38
　2.6.3　撥水性膜 39
　2.6.4　農業用防曇膜 39
2.7　遮断膜 44
　2.7.1　近赤外線遮断膜 44
　2.7.2　紫外線防御膜 46
　2.7.3　透明断熱膜 47
2.8　抗菌・防臭膜 48
2.9　プライマー 49
2.10　その他 51

第3章　新しい薄膜		  

3.1　炭素系薄膜		 53
　3.1.1　ダイヤモンド薄膜 53
　3.1.2　ダイヤモンド状炭素膜 54
　3.1.3　その他炭素系薄膜材料 55
　　(1)　マイクロコイル状炭素繊維 55
　　(2)　カルボライト 55
　　(3)　ナノチューブ 56
3.2　有機−無機ハイブリッド膜 56
　3.2.1　ゾルゲル法による有機−無機ハイブリッドコーテイング剤 57
　3.2.2　気相法による有機-無機ハイブリッド 59
3.3　医療用膜 60
　3.3.1　生体骨 61
　3.3.2　人工血管膜 61
　3.3.3　人工臓器 61
　3.3.4　その他医用材料 62
　　(1)　シリコーン応用医療材料 62
　　(2)　臨床検査試薬 62
　　(3)　造影剤 62
　　(4)　医療用離形フィルム 63
3.4　多孔質膜 63

第4章　無機系薄膜形成技術		  

4.1　無機系薄膜形成法		 65
4.2　ウエットプロセスを利用した薄膜形成法 65
　4.2.1　塗布方法を利用した薄膜形成方法 65
　　(1)　スプレー法，吹きつけ法，溶射法 66
　　(2)　ウエット・オン・ウエット法 67
　　(3)　液相析出法 68
　　(4)　メッキ法 69
　　(5)　ゾルゲル法 72
　　(6)　LB法 75
　　(7)　微粒子利用法 75
　4.2.2　塗布方法を用いた薄膜の応用例 76
4.3　ドライプロセスを利用した薄膜形成法 78
　4.3.1　化学的気相成長法（CVD） 79
　　(1)　熱CVD 81
　　(2)　プラズマCVD（PCVD） 82
　　(3)　光CVD 84
　　(4)　CVDの無機薄膜応用例 85
　4.3.2　物理的気相成長法（PVD） 85
　　(1)　真空蒸着 86
　　(2)　スパッタリング 88
　　(3)　イオンプレーティング 90
　　(4)　その他 91
　　(5)　PVD法で形成される無機系薄膜 93

第5章　無機系薄の微細加工		  

5.1　表面処理		 95
　5.1.1　物理的表面処理法 95
　　(1)　プラズマ表面処理 95
　　(2)　イオン注入法 97
　　(3)　電子ビーム(EB)照射法 97
　　(4)　レーザによる表面処理法 98
　　(5)　その他 98
　5.1.2　化学的表面処理法 98
5.2　微細加工 99

第6章　薄膜の試験法		  

6.1　薄膜の評価方法		 100
　(1)　膜の組成 100
　(2)　膜の厚さ 100
　(3)　膜の強度 100
　(4)　膜の密着性 100
　(5)　膜の電子的性質 101
　(6)　膜の光学的性質 101
6.2　薄膜の測定装置 103

第7章　無機系薄膜の応用		  

7.1　センサ		 104
7.2　記録・記憶 105
　(1)　光ディスク 105
　(2)　光磁気ディスク 107
　(3)　磁気テープ 107
　(4)　光テープ 108
　(5)　記録紙 109
7.3　太陽電池 110
7.4　ディスプレイ 111
　(1)　フィルムLCD 111
　(2)　PDP 113
　(3)　タッチパネル 113
　(4)　反射防止フィルム 114
7.5　光学部品 115
　(1)　透明光学部品 115
　(2)　光導波路部材 116
7.6　その他 117
　(1)　機械部材 118
　(2)　粘着ラベル 118
　(3)　PWB 118

第8章　薄膜に関する文献集		  

8.1　薄膜関連書籍		 119
8.2　薄膜関連新聞記事 119
8.3　薄膜関連記事掲載雑誌 123

第9章　特許要約集		  
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